压力传感器与半导体和MEMS工艺

压力传感器是一种用来检测外部压力的传感器，它可以将外部的物理压力转换成一个可以被其他电子设备所识别的信号。它有三种主要类型：半导体、MEMS工艺和液体式。 半导体式传感器使用半导体材料，如硅、锗或氮化镓作为传感元件，根据不同的应用场合而选择不同的半导体材料。它可以快速、准确地监测微小的外界变化，并能将这些信息传递到数字或模拟信号中去。然而，这种传感器因其敏感性耗能大、昂贵且重量较大而无法得到广泛应用。 MEMS工艺是一项使用微机电系统(MEMS)工艺制造出小尺寸、低成本的微机集成电子元件。这些元件比半导体要小很多（常常是几乎无法看到的微小尺寸），并且采用了独特的方式来衡量所测量物理数据中所包含信号。MEMS工艺不仅使生产凝胶感应装置(GIS)如水平、声学、光学/影子成为可能, 还使实时检测物理数据也成为可能, 例如水流量, 油耗, 温度, 压力, 力/ 地形效应. MIMS 工艺是一项前进性工作 ： 允许快速集成 （1 秒内实行 10 亿此之上 的命令 ）; 构造 精度 高; 处理 超高 频 ; 达到 高 效节能 ; 未来 此 类 MEMS 装 备将 杜 绝 未零 代之间 的 州立 .