工作气体对溅射薄膜的影响
[J]. 电子元件与材料, 2017, 36(8): 1-4.
[6] 张晓燕, 陈建军, 周亚庆. 氩气对碳化硅薄膜溅射性能的影响[J]. 中国表面工程, 2016, 29(7): 9-13.
[7] 李安平, 何志强. 电子行业用氩气及其分析测试方法[J]. 电子材料应用，2017，36（2）: 42-45.
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